三座標(biāo)非接觸測(cè)量顯微鏡主要用于測(cè)量和觀察微小物體的尺寸、形狀、表面粗糙度等參數(shù)，其具有高精度、高分辨率和高效率的優(yōu)點(diǎn)。
三座標(biāo)非接觸測(cè)量顯微鏡的使用方法：
準(zhǔn)備樣品：將需要測(cè)量的樣品放置在顯微鏡的載物臺(tái)上，并確保樣品穩(wěn)定不動(dòng)。
調(diào)整顯微鏡：調(diào)整顯微鏡的位置和角度，使樣品位于顯微鏡的觀察視野內(nèi)。同時(shí)，調(diào)整顯微鏡的焦距，確保樣品的圖像清晰。
啟動(dòng)測(cè)量軟件：打開(kāi)顯微鏡配套的測(cè)量軟件，并選擇相應(yīng)的測(cè)量模式和參數(shù)。
移動(dòng)測(cè)量區(qū)域：通過(guò)顯微鏡的移動(dòng)平臺(tái)，將需要測(cè)量的區(qū)域移動(dòng)到觀察視野內(nèi)。
采集圖像：在觀察視野內(nèi)，采集樣品的圖像數(shù)據(jù)。可以通過(guò)軟件對(duì)采集的圖像進(jìn)行預(yù)處理，如濾波、去噪等。
特征識(shí)別和測(cè)量：通過(guò)軟件中的特征識(shí)別算法，對(duì)采集的圖像進(jìn)行特征識(shí)別和提取。然后，根據(jù)需要測(cè)量的參數(shù)和目標(biāo)，進(jìn)行相應(yīng)的測(cè)量。
結(jié)果輸出：將測(cè)量結(jié)果輸出到軟件界面上，也可以將結(jié)果導(dǎo)出為數(shù)據(jù)文件進(jìn)行進(jìn)一步的分析和處理。
